高纯石英砂作为半导体、光伏、航天等高新技术领域的核心原材料,根据用途可分为拉管砂、打砣砂、坩埚砂三大类。
1、拉管砂通过连熔炉电阻加热连续生产,在连熔炉中加热至1700-1800℃,通过牵引装置连续拉制成型,形成管状、棒状或板状石英玻璃制品。
杂质控制:重点限制Fe(≤1.5ppm)、Ti(≤3ppm)等过渡金属,以减少透光率损失;对碱金属容忍度相对较高。
工艺特点:连续投料、电阻加热,适合大批量生产。
主要应用环节:半导体:用于制造扩散炉管、整流罩等高温洁净环境设备。电光源:如卤素灯、紫外灯管,需高透光率。航天与光纤:制造雷达罩、光纤预制棒支撑管。
2、打砣砂通过等离子熔融法或氢氧气炼法生产石英砣,对原料高纯石英砂中气液包裹体要求比较严格,石英砣制品中大于0.1mm的气泡数量有严格限制。
杂质控制:一、二、三级坨分别要求13种杂质元素小于22、50、50ppm。
主要应用环节:
半导体:制造石英舟、钟罩、法兰等高温承载器件。
光学领域:用于高透光率透镜、激光窗口等精密光学元件。
光伏:少量用于特种石英部件,但需求较石英坩埚低。
3、坩埚料用于电弧法制备石英坩埚的高纯石英砂,是单晶硅棒生长环节的核心耗材。
光伏和半导体领域硅料熔融与晶体生长,要求高纯度、耐高温性能,直接影响单晶硅的良率和生产效率。光伏领域主流为28-32英寸,半导体领域向更大尺寸。
杂质要求:半导体级石英坩埚需13种杂质元素总和≤17ppm,金属杂质含量达ppb级。
主要应用环节:
光伏:用于单晶硅棒拉制,占坩埚总需求的90%以上,寿命约300-400小时。
半导体:承载多晶硅熔融液,要求纯度≥9N(99.9999999%),直接影响晶圆良率。
行业标准与规范:
拉管砂:遵循《JC/T 597-2011半导体用透明石英玻璃管》,分T级和D级,D级杂质总量≤25ppm;
坩埚砂:需满足《JC/T 1048-2018单晶硅生长用石英坩埚》及地方标准(如DB 13/T 5631—2022),内层砂要求最严;
打砣砂:暂无独立国标,主要参考企业标准或半导体通用规范。
原料差异:
拉管料和砣料对石英砂纯度要求为4N-5N,而坩埚内层砂需6N以上,合成砂技术尚未完全突破。
市场供需:
拉管和砣用砂已基本国产化,坩埚中内层砂仍依赖进口。
技术方向:
石英砣向低羟基、高均匀性发展(如合成石英砂替代天然砂);
石英坩埚聚焦大尺寸与高纯度,国产替代加速。
来源:上海石英大会